LS-ZK383真空度測試儀說明書

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使用說明書
LS-ZK383
真空度測試儀
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 試用版本創(chuàng)建 à安全規(guī)則及注意事項(xiàng)
請您在使用 LS-ZK 系列真空測試儀前仔細(xì)閱讀本手冊。
l 在開機(jī)之前請先接好所有測試連接線，如打印機(jī)連接線；
l 測量前，請檢查管型是否適合所檢測的真空管，以便準(zhǔn)確測量。
l 開機(jī)、關(guān)機(jī)及測量時(shí)，不要觸及高壓線和磁控電流線，以防觸電。
l 儀器在使用過程中，如發(fā)現(xiàn)線圈發(fā)出異常響聲，應(yīng)考慮測試線短路或接觸不良，或者空
氣十分潮濕，或真空斷路器表面罩有灰塵等因素。
l 請不要使用汽油、香蕉水等化學(xué)劑擦拭機(jī)器，而應(yīng)使用柔軟干燥的布。
l 請確認(rèn)當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)電壓是否與本機(jī)供電電壓相符。交流 220±10% 50/60HZ
l 請注意不要在雷雨的情況下使用機(jī)器。
l 請不要破傷隨機(jī)所帶的線纜，以確保使用安全。
l 儀器出現(xiàn)故障時(shí)，非本公司專業(yè)技術(shù)人員嚴(yán)禁擅自打開儀器進(jìn)行檢修。
l 嚴(yán)禁高壓端直接或間接對地?cái)嗦贰?br/>第一章 儀器簡介
LS-ZK383 真空度測試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設(shè)備。經(jīng)西安高壓電器研究所檢驗(yàn)
并出具合格證書。是目前國內(nèi)能唯一的真實(shí)檢測真空含量的少數(shù)品牌之一。它以單片計(jì)算機(jī)
為主控單元，測試過程完全實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。該儀器在原理上改變了國內(nèi)外同類產(chǎn)品采用電流峰
值做標(biāo)定的方法，而采用離子電荷來做標(biāo)定。這樣，在物理原理上準(zhǔn)確性更高，而且，有效
地抑制了測試過程中脈沖電源的干擾，使測試穩(wěn)定可靠。該儀器采用二次采樣的方法扣除由
于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流，并且在測量過程中考慮了完全漏氣的真空滅弧室的判別，真正
做到了對安裝于整機(jī)上的真空滅弧室的準(zhǔn)確計(jì)量。目前，該儀器中已存有 35 條真空滅弧室的
測量標(biāo)準(zhǔn)曲線，涵蓋了國內(nèi)外絕大多數(shù)管型。該儀器質(zhì)量過硬，性能可靠，造形美觀，使用
方便。
性能特點(diǎn)：
1、 基于電離電荷的采樣技術(shù)
LS-ZK383 系列真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專家在磁控放
電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí)，真空滅弧室
內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對應(yīng)關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相
關(guān)間接關(guān)系。因此，我公司首創(chuàng)了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真
空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 試用版本創(chuàng)建2、 高低壓管型測試
本機(jī)另外對測試電壓輸出應(yīng)用了兩個(gè)檔位(高壓 3 萬伏低壓 2.5 萬伏)，因此可對高低
壓不同的各類管型時(shí)行有效測試。
3、 內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí)，其
放電電荷量是不同的，并且有相當(dāng)?shù)牟町悺闇?zhǔn)確測量，對每一種真空滅弧室必須有對應(yīng)
的從電離電荷量到真空度推算曲線。我公司的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的
密切合作，取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù)，通過數(shù)學(xué)
處理，將其特征參數(shù)送入 LS-ZK383 系列產(chǎn)品。因此，LS-ZK383 系列產(chǎn)品內(nèi)置國內(nèi)外幾
乎所有真空滅弧室的測量曲線。這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中絕無僅有的。
4、 漏電電流的處理
對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室動(dòng)觸頭加高壓靜觸頭端加負(fù)離子電流時(shí)，靜觸頭端會(huì)有
數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個(gè)體
差異。尤其是對于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏
電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性。并且在數(shù)值上與 10E—4Pa 數(shù)量級的真空滅弧
室的電離電流相當(dāng)。我們采用二次起動(dòng)高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于
整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
5、 判別完全漏氣的真空滅弧室
在 LS-ZK383 型機(jī)中，通過高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否完全漏氣。
6、 完善的輸入保護(hù)電路
當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí)，測量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿，瞬間的高壓直接
加至負(fù)離子電流采樣電路上，使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。LS-ZK383 的采樣電路增加了完
備的保護(hù)電路，即使儀器由于輸入端的高壓直接加到負(fù)離子電流采樣端居第一時(shí)間，微電
腦保護(hù)裝置會(huì)立即起控，使其進(jìn)入保護(hù)狀態(tài)，就不會(huì)造成電路嚴(yán)重的損壞。
7、 數(shù)據(jù)記錄
內(nèi)設(shè)微型打印機(jī)，可隨時(shí)打印出被測數(shù)據(jù)。
第三章 測試原理
利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同，來測試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣。
將滅弧室兩觸頭拉開一定的開距，動(dòng)觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負(fù)離子電流。由于漏
電電流非常弱，易于受到外界不同的干擾而降低精度。因此，必須通過勵(lì)磁線圈繞于滅弧室
外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場來，加速離子流，按
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 試用版本創(chuàng)建 www.fineprint.com.cn比例放大采樣率。這樣，在脈沖磁場的作用下，滅弧室中的電子作螺旋運(yùn)動(dòng)，并與殘余氣體
分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于直徑
不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同。通過實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種
管型的真空度與離子電流的對應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測知離子電流后，調(diào)用內(nèi)部相對應(yīng)的比例參樣，
加以精確運(yùn)算，得出準(zhǔn)確真實(shí)真空度值。也就是說通過查詢該管型的離子電流——真空度曲
線獲得該管型的真空度，這一過程由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成。
第四章 技術(shù)參數(shù)
l 所測真空泡：電壓等級 6KV-35KV 以上
l 測量范圍：10-5 10-1Pa
-
l 測量誤差：10-4 -10-1Pa 中誤差±10%
l 測量分辨率：10-5 Pa
l 漏氣的滅弧室在測量中將發(fā)生電擊穿，本機(jī)處于保護(hù)狀態(tài)。
l 允許環(huán)溫：-20℃-50℃，如在 0℃以下測試時(shí)請先將機(jī)器通電 20 分鐘后再使用。
l 空氣濕度：＜85%RH
l 輸入電源：AC220V±10% 50/60HZ
l 外形尺寸：350×320×225mm
第五章 真空度測試儀面板和外部接線圖
面板介紹:
LS-ZK383 真空度測試儀
PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 試用版本創(chuàng)建1、 離子電流輸出端：用于輸出測試所需的離子電流。（漏電流采樣端）
2、 磁控電流輸出端：用于輸出測試所需的磁控電流來加速電子流以減小外界的各種因素
對測量精度的影響。
3、 高壓輸出端：用于輸出測試所需的高壓。（低 2. 5 萬伏高 3 萬伏）詳見 3.3.5 操作說
明.
4、 外接電源:提供儀器所需的工作電壓。AC220V±10% 50/60HZ)
5、 電源開關(guān)：控制儀器的總開關(guān)。
6、 管型：用于選擇與測試相對應(yīng)的管型。
7、 真空度顯示：用于顯示檢測真空度的真實(shí)值。（讀數(shù)用科學(xué)計(jì)數(shù)法讀?。?br/>8、 Pa（真空度）燈：用于指示當(dāng)前讀數(shù)類型、單位
9、 A（電流）燈：用于指示當(dāng)前讀數(shù)類型、單位。詳見 3.3.4 操作說明。
10、 高壓選擇開關(guān)：用于選擇測量所需的高壓等級，被測管型是 10KV 以上選用的高檔位。
10KV 以下選用低檔位。
11、 磁控電壓：用于指示磁控線圈的電壓。
12、 按鍵：選擇鍵用于選擇管型，選擇鍵燈亮為有效；選擇管型后，選擇鍵燈滅為選中。

LS-ZK383真空度測試儀是一款專門用于測量各種真空環(huán)境下的氣體壓強(qiáng)的精密儀器。該設(shè)備可能屬于實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)生產(chǎn)過程控制或科學(xué)研究等領(lǐng)域中的常用工具，它能夠準(zhǔn)確地測定并顯示被測系統(tǒng)內(nèi)的絕對壓力（相對于真空狀態(tài)的壓力值），通常以帕斯卡(Pa)、托里拆利(Torr) 或巴(bar)等國際單位制表示。 具體內(nèi)容描述可能包括： 1. 產(chǎn)品概述：LS-ZK383真空度測試儀采用了先進(jìn)的傳感器技術(shù)和微處理器控制，具備精確的真空度檢測能力，適用于低至高真空范圍內(nèi)的應(yīng)用，如半導(dǎo)體行業(yè)、真空泵性能測試、真空包裝、航空航天以及科學(xué)研究等。 2. 測量原理：通過利用熱力學(xué)或電離效應(yīng)原理，測量并轉(zhuǎn)換為電信號，再經(jīng)過內(nèi)部信號處理和校準(zhǔn)后顯示出真空度數(shù)值。 3. 技術(shù)參數(shù)： - 測量范圍：通常標(biāo)注為0 Pa至X Torr或X mbar（具體取決于型號規(guī)格） - 精度等級：可能提供±(0.5%FS+1Pa)或更高精度級別 - 顯示方式：LCD顯示屏，可以顯示實(shí)時(shí)真空度值、最大值、最小值及趨勢圖等功能 - 連接接口：可能配備標(biāo)準(zhǔn)的RS-232或USB通信接口，以便于數(shù)據(jù)導(dǎo)出與遠(yuǎn)程監(jiān)控 4. 使用方法與操作步驟：詳細(xì)闡述如何正確安裝、開機(jī)、校準(zhǔn)、測量真空環(huán)境以及關(guān)機(jī)等步驟，并給出常見問題的解決方案。 5. 注意事項(xiàng)與維護(hù)保養(yǎng)：列舉在使用過程中應(yīng)注意的安全事項(xiàng)、設(shè)備維護(hù)要點(diǎn)以及電池更換、存儲等方面的要求。 6. 附錄：包含技術(shù)參數(shù)表、尺寸圖、典型應(yīng)用示例、常見問題解答以及售后服務(wù)聯(lián)系方式等相關(guān)信息。 總之，LS-ZK383真空度測試儀說明書會(huì)詳細(xì)介紹產(chǎn)品的功能特點(diǎn)、使用方法、維護(hù)保養(yǎng)等內(nèi)容，幫助用戶全面理解和掌握設(shè)備的操作與應(yīng)用。